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文献
J-GLOBAL ID：201702213607111093
整理番号：17A1475217
超音波診断用CMUTの積層薄膜構造の検討
Evaluation of Thin Films Composition of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers for Ultrasonic Diagnoses
青野宇紀
((株)日立製作所 研究開発グループ 機械イノベーションセンタ)
,
吉村保廣
((株)日立製作所 研究開発グループ 機械イノベーションセンタ)
,
町田俊太郎
((株)日立製作所 研究開発グループ エレクロトニクスイノベーションセンタ)
資料名：
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 137 号： 10 ページ： 341-348(J-STAGE) 発行年： 2017年
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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