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文献
J-GLOBAL ID：201702213693797656
整理番号：17A0381560
サブミクロン厚PECVD DLCで被覆した完全単結晶シリコンの引張特性【Powered by NICT】
Tensile properities of single-crystal-silicon fully coated with submicrometer-thick PECVD DLC
Zhang Wenlei
(Department of Micro Engineering, Kyoto University, Japan)
,
Uesugi Akio
(Department of Micro Engineering, Kyoto University, Japan)
,
Hirai Yoshikazu
(Department of Micro Engineering, Kyoto University, Japan)
,
Tsuchiya Toshiyuki
(Department of Micro Engineering, Kyoto University, Japan)
,
Tabata Osamu
(Department of Micro Engineering, Kyoto University, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： MEMS ページ： 732-735 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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