文献
J-GLOBAL ID:201702213902740176
整理番号:17A0289666
プラズモンTiN用のプラズマ増強原子層堆積
Plasma-enhanced atomic layer deposition for plasmonic TiN
著者 (9件):
OTTO Lauren M.
(Univ. Minnesota, MN, USA)
,
OTTO Lauren M.
(Lawrence Berkeley National Lab., CA, USA)
,
HAMMACK Aaron T.
(Lawrence Berkeley National Lab., CA, USA)
,
ALONI Shaul
(Lawrence Berkeley National Lab., CA, USA)
,
OGLETREE D.Frank
(Lawrence Berkeley National Lab., CA, USA)
,
OLYNICK Deirdre L.
(Lawrence Berkeley National Lab., CA, USA)
,
DHUEY Scott
(Lawrence Berkeley National Lab., CA, USA)
,
STADLER Bethanie J.H.
(Univ. Minnesota, MN, USA)
,
SCHWARTZBERG Adam M.
(Lawrence Berkeley National Lab., CA, USA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9919
ページ:
99190N.1-99190N.8
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)