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文献
J-GLOBAL ID：201702214139356723
整理番号：17A0409503
触覚応用のための薄膜AlNアクチュエータに基づく4インチ透明板【Powered by NICT】
4-inch transparent plates based on thin-film AlN actuators for haptic applications
Casset F.
(University of Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France)
,
Casset F.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France)
,
Danel JS.
(University of Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France)
,
Danel JS.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France)
,
Renaux P.
(University of Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France)
,
Renaux P.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France)
,
Chappaz C.
(STMicroelectronics, 850 rue Jean Monnet, 38926 Crolles, France)
,
Bernard F.
(TIMA (CNRS-Grenoble INP-UJF), 38000 Grenoble, France)
,
Sednaoui T.
(STMicroelectronics, 850 rue Jean Monnet, 38926 Crolles, France)
,
Basrour S.
(TIMA (CNRS-Grenoble INP-UJF), 38000 Grenoble, France)
,
Desloges B.
(University of Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France)
,
Desloges B.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France)
,
Fanget S.
(University of Grenoble Alpes, F-38000 Grenoble, France)
,
Fanget S.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France)
資料名：
Mechatronics
(Mechatronics)
巻： 40 ページ： 264-269 発行年： 2016年
JST資料番号： W0098A ISSN： 0957-4158 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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