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文献
J-GLOBAL ID：201702215356841162
整理番号：17A0445641
金属管取付具を用いた工業部品のプラズマ浸漬イオン注入(PIII)と堆積(PIII&D)の新しい可能性【Powered by NICT】
New possibilities of plasma immersion ion implantation (PIII) and deposition (PIII&D) in industrial components using metal tube fixtures
Ueda M.
(Associated Laboratory of Plasma, National Institute for Space Research, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil)
,
Silva A.R.
(Associated Laboratory of Plasma, National Institute for Space Research, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil)
,
Silva A.R.
(Associated Laboratory of Sensors and Materials, National Institute for Space Research, SP, Brazil)
,
Pillaca E.J.D.M.
(Associated Laboratory of Plasma, National Institute for Space Research, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil)
,
Mariano S.F.M.
(Associated Laboratory of Plasma, National Institute for Space Research, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil)
,
Mariano S.F.M.
(Associated Laboratory of Sensors and Materials, National Institute for Space Research, SP, Brazil)
,
Rossi J.O.
(Associated Laboratory of Plasma, National Institute for Space Research, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil)
,
Oliveira R.M.
(Associated Laboratory of Plasma, National Institute for Space Research, Sao Jose dos Campos, SP, Brazil)
,
Pichon L.
(Institut Pprime -UPR 3346 CNRS-Universite de Poitiers-ENSMA, Poitiers, France)
,
Reuther H.
(Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, Germany)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 312 ページ： 37-46 発行年： 2017年
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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