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文献
J-GLOBAL ID：201702215363611325
整理番号：17A0402515
Pd/Ge反応の第一段階:混合効果と主たる拡散種【Powered by NICT】
First stages of Pd/Ge reaction: Mixing effects and dominant diffusing species
Perrin Toinin J.
(Aix-Marseille University, IM2NP, Faculte des Sciences de Saint-Jerome, case 142, 13397 Marseille, France)
,
Perrin Toinin J.
(CNRS, IM2NP, Faculte des Sciences de Saint-Jerome, case 142, 13397 Marseille, France)
,
Portavoce A.
(CNRS, IM2NP, Faculte des Sciences de Saint-Jerome, case 142, 13397 Marseille, France)
,
Texier M.
(Aix-Marseille University, IM2NP, Faculte des Sciences de Saint-Jerome, case 142, 13397 Marseille, France)
,
Bertoglio M.
(CNRS, IM2NP, Faculte des Sciences de Saint-Jerome, case 142, 13397 Marseille, France)
,
Hoummada K.
(Aix-Marseille University, IM2NP, Faculte des Sciences de Saint-Jerome, case 142, 13397 Marseille, France)
資料名：
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻： 167 ページ： 52-57 発行年： 2017年
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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