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文献
J-GLOBAL ID：201702215463578549
整理番号：17A1090423
スズ-オキソケージの極限紫外線パターン形成
Extreme ultraviolet patterning of tin-oxo cages
HAITJEMA Jarich
(Advanced Res. Center for Nanolithography, Amsterdam, NLD)
,
ZHANG Yu
(Advanced Res. Center for Nanolithography, Amsterdam, NLD)
,
VOCKENHUBER Michaela
(Paul Scherrer Inst., Villigen, CHE)
,
KAZAZIS Dimitrios
(Paul Scherrer Inst., Villigen, CHE)
,
EKINCI Yasin
(Paul Scherrer Inst., Villigen, CHE)
,
BROUWER Albert M.
(Advanced Res. Center for Nanolithography, Amsterdam, NLD)
,
BROUWER Albert M.
(Univ. Amsterdam, Amsterdam, NLD)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10143 ページ： 1014325.1-1014325.10 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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