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文献
J-GLOBAL ID：201702215649379902
整理番号：17A1374533
光電気化学酸化を利用した触媒表面基準エッチング法による窒化ガリウムの高能率平坦化
木田英香
(大阪大 大学院)
,
藤大雪
(大阪大 大学院)
,
中平雄太
(大阪大 大学院)
,
松山智至
(大阪大 大学院)
,
佐野泰久
(大阪大 大学院)
,
山内和人
(大阪大 大学院)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017 号： 秋季(CD-ROM) ページ： ROMBUNNO.A15 発行年： 2017年09月05日
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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