文献
J-GLOBAL ID:201702215719037880
整理番号:17A0527163
微小空洞構造で統合した二層電極を使用した粒子捕そくとインピーダンス測定
Particle trapping and impedance measurement using bilayer electrodes integrated with microcavity structure
著者 (5件):
CHEN Guan-Ting
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
LIU Chia-Feng
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
JANG Ling-Sheng
(National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
,
LI Shun-Lai
(Southern Taiwan Univ. Sci. and Technol., Tainan, TWN)
,
WANG Min-Haw
(Chinese Culture Univ., Taipei, TWN)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
27
号:
3
ページ:
035007,1-9
発行年:
2017年03月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)