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文献
J-GLOBAL ID：201702215922579446
整理番号：17A0831454
N注入過程に及ぼすアナターゼ二酸化チタン膜(001)優先配向の影響【Powered by NICT】
The influence of anatase titanium dioxide film (001) preferred orientation on N implantation process
Liu Jindong
(College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China)
,
Zhao Shiping
(College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China)
,
Wang Hualin
(College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China)
,
Cui Yunxian
(College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China)
,
Liu Shimin
(College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China)
,
Jiang Weiwei
(College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China)
,
Wang Nan
(College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China)
,
Liu Chaoqian
(College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China)
,
Chai Weiping
(College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China)
,
Ding Wanyu
(College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China)
資料名：
Materials Letters
(Materials Letters)
巻： 197 ページ： 28-30 発行年： 2017年
JST資料番号： E0935A ISSN： 0167-577X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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