文献
J-GLOBAL ID:201702216250030102
整理番号:17A0470335
表面下に隠れている変形地域のスパッタリングによる検出【Powered by NICT】
Detection by sputtering of deformed areas hidden under a surface
著者 (3件):
Tolpin K.A.
(Physics Faculty of Moscow State University, Moscow 119991, Russia)
,
Minnebaev K.F.
(Physics Faculty of Moscow State University, Moscow 119991, Russia)
,
Yurasova V.E.
(Physics Faculty of Moscow State University, Moscow 119991, Russia)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
138
ページ:
139-145
発行年:
2017年
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)