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文献
J-GLOBAL ID：201702216584720833
整理番号：17A0795408
ボンディング技術を用いたシリコンモノリシック平面マイクロ熱電発電機【Powered by NICT】
Silicon-Based Monolithic Planar Micro Thermoelectric Generator Using Bonding Technology
Ziouche Katir
(CNRS, IEMN Institute, Lille University, Villeneuve-d’Ascq, France)
,
Yuan Zheng
(CNRS, IEMN Institute, Lille University, Villeneuve-d’Ascq, France)
,
Lejeune Pascale
(CNRS, IEMN Institute, Lille University, Villeneuve-d’Ascq, France)
,
Lasri Tuami
(CNRS, IEMN Institute, Lille University, Villeneuve-d’Ascq, France)
,
Leclercq Didier
(CNRS, IEMN Institute, Lille University, Villeneuve-d’Ascq, France)
,
Bougrioua Zahia
(CNRS, IEMN Institute, Lille University, Villeneuve-d’Ascq, France)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 26 号： 1 ページ： 45-47 発行年： 2017年
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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