文献
J-GLOBAL ID:201702216662124937
整理番号:17A0381417
液体を満たしたナノメートルスケールギャップを持つ静電曲げアクチュエータ【Powered by NICT】
Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap
著者 (8件):
Gaudet M.
(Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Dresden, Germany)
,
Uhlig S.
(Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Dresden, Germany)
,
Stolz M.
(Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Dresden, Germany)
,
Arscott S.
(Institute of Electronics, Microelectronics and Nanotechnology, CNRS (UMR8520), Villeneuve d’Ascq, France)
,
Conrad H.
(Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Dresden, Germany)
,
Langa S.
(Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Dresden, Germany)
,
Kaiser B.
(Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Dresden, Germany)
,
Schenk H.
(Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Dresden, Germany)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MEMS
ページ:
175-178
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)