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文献
J-GLOBAL ID：201702217608277025
整理番号：17A1736994
将来の応用とデバイスのための材料科学における希ガスイオンビーム
Noble gas ion beams in materials science for future applications and devices
BELIANINOV Alex
(Oak Ridge National Lab., USA)
,
BURCH Matthew J.
(Oak Ridge National Lab., USA)
,
KIM Songkil
(Oak Ridge National Lab., USA)
,
TAN Shida
(Intel Corp., USA)
,
HLAWACEK Gregor
(Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, DEU)
,
OVCHINNIKOVA Olga S.
(Oak Ridge National Lab., USA)
資料名：
MRS Bulletin
(MRS Bulletin)
巻： 42 号： 9 ページ： 660-666 発行年： 2017年09月
JST資料番号： W1595A ISSN： 0883-7694 CODEN： MRSBEA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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