文献
J-GLOBAL ID:201702217769918672
整理番号:17A1409660
実時間で膜を分析するSPARSE(空間位相遅延分光学的エリプソメトリー)
SPARSE (spatially phase-retarded spectroscopic ellipsometry) for real-time film analysis
著者 (3件):
KIM Dae Hee
(Chosun Univ., Gwangju, KOR)
,
YUN Young Ho
(Chosun Univ., Gwangju, KOR)
,
JOO Ki-Nam
(Chosun Univ., Gwangju, KOR)
資料名:
Optics Letters
(Optics Letters)
巻:
42
号:
16
ページ:
3189-3192
発行年:
2017年08月15日
JST資料番号:
H0690A
ISSN:
0146-9592
CODEN:
OPLEDP
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)