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文献
J-GLOBAL ID：201702217774422894
整理番号：17A0995900
超臨界二酸化炭素を用いたシリコンウエハ上にパターン化されたマイクロスケール溝へのPMDA TFDB型ポリイミドの蒸着【Powered by NICT】
Deposition of PMDA-TFDB type polyimide onto microscale trenches patterned on silicon wafer using supercritical carbon dioxide
Haruki Masashi
(Faculty of Mechanical Engineering, Institute of Science and Engineering, Kanazawa University, Kakuma-machi, Kanazawa 920-1192, Japan)
,
Wasada Atsuhiko
(Department of Chemical Engineering, Graduate School of Engineering, Hiroshima University, 1-4-1 Kagamiyama, Higashi-Hiroshima 739-8527, Japan)
,
Hosokawa Yuki
(Department of Chemical Engineering, Graduate School of Engineering, Hiroshima University, 1-4-1 Kagamiyama, Higashi-Hiroshima 739-8527, Japan)
,
Kihara Shin-ichi
(Department of Chemical Engineering, Graduate School of Engineering, Hiroshima University, 1-4-1 Kagamiyama, Higashi-Hiroshima 739-8527, Japan)
,
Takishima Shigeki
(Department of Chemical Engineering, Graduate School of Engineering, Hiroshima University, 1-4-1 Kagamiyama, Higashi-Hiroshima 739-8527, Japan)
資料名：
Journal of Supercritical Fluids
(Journal of Supercritical Fluids)
巻： 127 ページ： 200-207 発行年： 2017年
JST資料番号： W1591A ISSN： 0896-8446 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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