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J-GLOBAL ID：201702217890029779 整理番号：17A0193523

マイクロフォンアレイを用いた枚葉式半導体洗浄装置内に形成される大規模渦構造の検出

Large-scale vortical structure detection using microphone array in a semiconductor single wafer spin cleaner

著者 (5件)：

河内俊憲

(岡山大大学院自然科学研究科)

三好勇輝

(岡山大大学院自然科学研究科)

中野裕介

(岡山大大学院自然科学研究科)

永田靖典

(岡山大大学院自然科学研究科)

柳瀬眞一郎

(岡山大大学院自然科学研究科)

資料名：

日本機械学会論文集(Web) (Bulletin of the JSME (Web))

巻： 83 号： 845 ページ： ROMBUNNO.16-00441(J-STAGE) 発行年： 2017年
JST資料番号： U0182B ISSN： 2187-9761 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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