文献
J-GLOBAL ID:201702218225918879
整理番号:17A0038043
C60-有機ケイ素ハイブリッド重合体の易しい合成 スピン-オン型ケイ素系ハードマスク材料に向けた調節可能な光学的性質の考察
A facile synthesis of C60-organosilicon hybrid polymers: Considering their tunable optical properties for spin-on-silicon hardmask materials
著者 (4件):
Choi Jin-Kyu
(Department of Chemistry, Chonnam National University, Gwangju 500-757, Republic of Korea)
,
Dao Tung Duy
(Department of Chemistry, Chonnam National University, Gwangju 500-757, Republic of Korea)
,
Kim Ye-Seul
(Department of Chemistry, Chonnam National University, Gwangju 500-757, Republic of Korea)
,
Jeong Hyun-Dam
(Department of Chemistry, Chonnam National University, Gwangju 500-757, Republic of Korea)
資料名:
Materials Chemistry and Physics
(Materials Chemistry and Physics)
巻:
181
ページ:
259-264
発行年:
2016年09月15日
JST資料番号:
E0934A
ISSN:
0254-0584
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)