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文献
J-GLOBAL ID：201702218370786014
整理番号：17A0968983
相補型金属-酸化物-半導体チップ上の完全統合のために開発された多層干渉フィルタの透過測定【Powered by NICT】
Transmission measurements of multilayer interference filters developed for a full integration on Complementary Metal Oxide Semiconductor chips
Masarotto L.
(Univ Grenoble Alpes, CEA LETI, MINATEC campus, F38054, Grenoble Cedex 9, France)
,
Frey L.
(Univ Grenoble Alpes, CEA LETI, MINATEC campus, F38054, Grenoble Cedex 9, France)
,
Charles M.L.
(Univ Grenoble Alpes, CEA LETI, MINATEC campus, F38054, Grenoble Cedex 9, France)
,
Roule A.
(Univ Grenoble Alpes, CEA LETI, MINATEC campus, F38054, Grenoble Cedex 9, France)
,
Rodriguez G.
(Univ Grenoble Alpes, CEA LETI, MINATEC campus, F38054, Grenoble Cedex 9, France)
,
Souil R.
(Univ Grenoble Alpes, CEA LETI, MINATEC campus, F38054, Grenoble Cedex 9, France)
,
Morales C.
(Univ Grenoble Alpes, CEA LETI, MINATEC campus, F38054, Grenoble Cedex 9, France)
,
Larrey V.
(Univ Grenoble Alpes, CEA LETI, MINATEC campus, F38054, Grenoble Cedex 9, France)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 631 ページ： 23-28 発行年： 2017年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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