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文献
J-GLOBAL ID：201702218528760895
整理番号：17A0473073
高温低電力CMOS互換シリコンマイクロヒータを用いたメタンセンシングに関する研究【Powered by NICT】
The study on methane sensing with high-temperature low-power CMOS compatible silicon microheater
Ma Hongyu
(Research Center for Internet of Things, State and Local Joint Engineering Laboratory of Perception Mine, China University of Mining and Technology, Xuzhou 221008, China)
,
Qin Shunli
(Research Center for Internet of Things, State and Local Joint Engineering Laboratory of Perception Mine, China University of Mining and Technology, Xuzhou 221008, China)
,
Wang Liying
(Research Center for Internet of Things, State and Local Joint Engineering Laboratory of Perception Mine, China University of Mining and Technology, Xuzhou 221008, China)
,
Wang Gang
(Research Center for Internet of Things, State and Local Joint Engineering Laboratory of Perception Mine, China University of Mining and Technology, Xuzhou 221008, China)
,
Zhao Xiaohu
(Research Center for Internet of Things, State and Local Joint Engineering Laboratory of Perception Mine, China University of Mining and Technology, Xuzhou 221008, China)
,
Ding Enjie
(Research Center for Internet of Things, State and Local Joint Engineering Laboratory of Perception Mine, China University of Mining and Technology, Xuzhou 221008, China)
資料名：
Sensors and Actuators. B. Chemical
(Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 244 ページ： 17-23 発行年： 2017年
JST資料番号： T0967A ISSN： 0925-4005 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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