文献
J-GLOBAL ID:201702218579974952
整理番号:17A0124405
シリコン表面上でのナノ粒子の効果的な除去のためにレーザ誘起プラズマの条件【Powered by NICT】
Conditions for laser-induced plasma to effectively remove nano-particles on silicon surfaces
著者 (5件):
Han Jinghua
(College of Electronics and Information Engineering, Sichuan University)
,
Luo Li
(College of Electronics and Information Engineering, Sichuan University)
,
Zhang Yubo
(Sichuan Engineering Technical College)
,
Hu Ruifeng
(College of Electronics and Information Engineering, Sichuan University)
,
Feng Guoying
(College of Electronics and Information Engineering, Sichuan University)
資料名:
Chinese Physics B
(Chinese Physics B)
巻:
25
号:
9
ページ:
095204-1-095204-6
発行年:
2016年
JST資料番号:
W1539A
ISSN:
1674-1056
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
中国 (CHN)
言語:
英語 (EN)