文献
J-GLOBAL ID:201702218615990678
整理番号:17A0361459
水冷ジャケットを用いた連続供給Czochralskiシリコン結晶成長における熱伝達の制御【Powered by NICT】
Control of heat transfer in continuous-feeding Czochralski-silicon crystal growth with a water-cooled jacket
著者 (2件):
Zhao Wenhan
(Key Laboratory of Thermo-Fluid Science and Engineering, Ministry of Education, School of Energy and Power Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi 710049, China)
,
Liu Lijun
(Key Laboratory of Thermo-Fluid Science and Engineering, Ministry of Education, School of Energy and Power Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, Shaanxi 710049, China)
資料名:
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻:
458
ページ:
31-36
発行年:
2017年
JST資料番号:
B0942A
ISSN:
0022-0248
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)