文献
J-GLOBAL ID:201702218655585835
整理番号:17A0547347
NbONエピタキシャル薄膜のパルスレーザ蒸着と特性評価
Pulsed laser deposition and characterization of NbON epitaxial thin films
著者 (7件):
MOTANEEYACHART Vitchaphol
(Univ. Tokyo)
,
HIROSE Yasushi
(Univ. Tokyo)
,
HIROSE Yasushi
(KAST)
,
SUZUKI Atsushi
(Univ. Tokyo)
,
NAKAO Shoichiro
(KAST)
,
HASEGAWA Tetsuya
(Univ. Tokyo)
,
HASEGAWA Tetsuya
(KAST)
資料名:
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻:
64th
ページ:
ROMBUNNO.14a-213-1
発行年:
2017年03月01日
JST資料番号:
Y0054B
ISSN:
2436-7613
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)