文献
J-GLOBAL ID:201702219221972334
整理番号:17A1778737
平坦化技術のない住宅CMOS互換MEMS微細構造への異方性シリコンエッチング【Powered by NICT】
Anisotropic silicon etch to house CMOS compatible MEMS microstructures without planarization techniques
著者 (4件):
Alvarez Carlos Ramon Baez
(Laboratorio de Innovacio ́n en Sistemas Micro Electro Meca ́nicos (LI-MEMS), Instituto Nacional de Astrofi ́sica, O ́ptica y Electro ́nica, Luis Enrique Erro No. 1, Sta. Mari ́a Tonantzintla, P, P, Box 51, 72000, Puebla Me ́xico)
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Arriaga Wilfrido Calleja
(Laboratorio de Innovacio ́n en Sistemas Micro Electro Meca ́nicos (LI-MEMS), Instituto Nacional de Astrofi ́sica, O ́ptica y Electro ́nica, Luis Enrique Erro No. 1, Sta. Mari ́a Tonantzintla, P, P, Box 51, 72000, Puebla Me ́xico)
,
Aranda Monico Linares
(Laboratorio de Innovacio ́n en Sistemas Micro Electro Meca ́nicos (LI-MEMS), Instituto Nacional de Astrofi ́sica, O ́ptica y Electro ́nica, Luis Enrique Erro No. 1, Sta. Mari ́a Tonantzintla, P, P, Box 51, 72000, Puebla Me ́xico)
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Jacome Alfonso Torres
(Laboratorio de Innovacio ́n en Sistemas Micro Electro Meca ́nicos (LI-MEMS), Instituto Nacional de Astrofi ́sica, O ́ptica y Electro ́nica, Luis Enrique Erro No. 1, Sta. Mari ́a Tonantzintla, P, P, Box 51, 72000, Puebla Me ́xico)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
CCE
ページ:
1-4
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)