文献
J-GLOBAL ID:201702219311430856
整理番号:17A1604153
Siウェハ上の6”Hg1-xCdxTe MBEにおけるエッチング課題の克服
Overcoming Etch Challenges on a 6′′ Hg1-xCdxTe MBE on Si Wafer
著者 (3件):
APTE Palash
(Raytheon Vision Systems, CA, USA)
,
NORTON Elyse
(Raytheon Vision Systems, CA, USA)
,
ROBINSON Solomon
(Raytheon Vision Systems, CA, USA)
資料名:
Journal of Electronic Materials
(Journal of Electronic Materials)
巻:
46
号:
10
ページ:
5873-5876
発行年:
2017年10月
JST資料番号:
D0277B
ISSN:
0361-5235
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)