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文献
J-GLOBAL ID:201702219375108415   整理番号:17A1016233

イオン注入シミュレーションによる粉体および線材への注入分布の一般則

著者 (6件):
米田知晃
(福井工高専)
田原憧太郎
(福井工高専)
山本幸男
(福井工高専)
荒川正和
(福井工高専)
西城理志
(福井工高専)
堀川隼世
(福井工高専)

資料名:
表面科学学術講演会講演要旨集  (表面科学学術講演会要旨集)

巻: 37th  ページ: 50  発行年: 2017年08月17日 
JST資料番号: L1366A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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