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文献
J-GLOBAL ID：201702219490876378
整理番号：17A0403376
パラメータプロセスの制御による化学蒸着により堆積したパリレンDの化学的,物理的,および電気的性質の改善【Powered by NICT】
Improvement of chemical, physical, and electrical properties of parylene-D deposited by chemical vapor deposition by controlling the parameters process
Mokni M.
(Univ. Grenoble Alpes, G2Elab, F-38000 Grenoble, France)
,
Mokni M.
(Laboratoire Materiaux Organisation et Proprietes (LMOP), Universite de Tunis El Manar, 2092 Tunis, Tunisia)
,
Kahouli A.
(Univ. Grenoble Alpes, G2Elab, F-38000 Grenoble, France)
,
Kahouli A.
(Laboratoire Materiaux Organisation et Proprietes (LMOP), Universite de Tunis El Manar, 2092 Tunis, Tunisia)
,
Jomni F.
(Laboratoire Materiaux Organisation et Proprietes (LMOP), Universite de Tunis El Manar, 2092 Tunis, Tunisia)
,
Garden J.-L.
(CNRS, I. Neel, F-38000 Grenoble, France)
,
Andre E.
(CNRS, I. Neel, F-38000 Grenoble, France)
,
Sylvestre A.
(Univ. Grenoble Alpes, G2Elab, F-38000 Grenoble, France)
資料名：
Materials Chemistry and Physics
(Materials Chemistry and Physics)
巻： 186 ページ： 598-611 発行年： 2017年
JST資料番号： E0934A ISSN： 0254-0584 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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