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文献
J-GLOBAL ID：201702219563585151
整理番号：17A0204188
n型シリコンの光支援電気化学的エッチングによる無秩序壁アレイ【Powered by NICT】
Disordered wall arrays by photo-assisted electrochemical etching in n-type silicon
Lei Yaohu
(College of Optoelectronic Engineering, Shenzhen University)
,
Zhao Zhigang
(College of Optoelectronic Engineering, Shenzhen University)
,
Guo Jinchuan
(College of Optoelectronic Engineering, Shenzhen University)
,
Li Ji
(College of Optoelectronic Engineering, Shenzhen University)
,
Niu Hanben
(College of Optoelectronic Engineering, Shenzhen University)
資料名：
Journal of Semiconductors
(Journal of Semiconductors)
巻： 37 号： 10 ページ： 106001-1-106001-5 発行年： 2016年
JST資料番号： C2377A ISSN： 1674-4926 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 中国 (CHN) 言語： 英語 (EN)
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