文献
J-GLOBAL ID:201702219567568556
整理番号:17A0955168
円筒空洞における共鳴場の高速回転と低速脈動によるマイクロ波プラズマの発生
Microwave plasma generation by the fast rotation and slow pulsation of resonant fields in a cylindrical cavity
著者 (6件):
HASEGAWA Yuichi
(Chubu Univ., Aichi, JPN)
,
NAKAMURA Keiji
(Chubu Univ., Aichi, JPN)
,
LUBOMIRSKY Dima
(Applied Materials Inc., CA, USA)
,
PARK Soonam
(Applied Materials Inc., CA, USA)
,
KOBAYASHI Satoru
(Applied Materials Inc., CA, USA)
,
SUGAI Hideo
(Nagoya Industrial Sci. Res. Inst., Nagoya, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
56
号:
4
ページ:
046203.1-046203.7
発行年:
2017年04月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)