文献
J-GLOBAL ID:201702219635598322
整理番号:17A1090540
グリーン操作と先端プロセスを支える次世代多重パターニング液浸リソグラフィのためのArFレーザ
The ArF Laser for the next generation multiple-patterning immersion lithography supporting green operations and leading edge processes
著者 (8件):
MIYAMOTO Hirotaka
(Gigaphoton Inc., Tochigi, JPN)
,
KUMAZAKI Takahito
(Gigaphoton Inc., Tochigi, JPN)
,
TSUSHIMA Hiroaki
(Gigaphoton Inc., Tochigi, JPN)
,
KUROSU Akihiko
(Gigaphoton Inc., Tochigi, JPN)
,
OHTA Takeshi
(Gigaphoton Inc., Tochigi, JPN)
,
BUSHIDA Satoru
(Gigaphoton Inc., Tochigi, JPN)
,
MATSUNAGA Takashi
(Gigaphoton Inc., Tochigi, JPN)
,
MIZOGUCHI Hakaru
(Gigaphoton Inc., Tochigi, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10147
ページ:
1014719.1-1014719.11
発行年:
2017年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)