前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201702219863447287
整理番号：17A1090479
散乱計測に基づく光学的測定の高度な応用
Advanced applications of scatterometry based optical metrology
DIXIT Dhairya
(GLOBALFOUNDRIES Technology Dev., New York, USA)
,
KELLER Nick
(Nanometrics, CA)
,
KAGALWALA Taher
(GLOBALFOUNDRIES Technology Dev., New York, USA)
,
RECCHIA Fiona
(GLOBALFOUNDRIES Technology Dev., New York, USA)
,
LIFSHITZ Yevgeny
(Nanometrics, CA)
,
ELIA Alexander
(GLOBALFOUNDRIES Technology Dev., New York, USA)
,
TODI Vinit
(GLOBALFOUNDRIES Technology Dev., New York, USA)
,
FRONHEISER Jody
(GLOBALFOUNDRIES Technology Dev., New York, USA)
,
VAID Alok
(GLOBALFOUNDRIES Technology Dev., New York, USA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 10145 号： Pt.2 ページ： 101451H.1-101451H.10 発行年： 2017年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。