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文献
J-GLOBAL ID：201702219901826446
整理番号：17A0401077
高出力パルスマグネトロンスパッタリングにより作製したCu膜のプラズマ特性と性質【Powered by NICT】
Plasma characteristics and properties of Cu films prepared by high power pulsed magnetron sputtering
Wu B.H.
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China)
,
Wu J.
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China)
,
Jiang F.
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China)
,
Jiang F.
(State Key Laboratory of Physical Chemistry of Surfaces, Jiangyou, Sichuan, 621700, China)
,
Ma D.L.
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China)
,
Chen C.Z.
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China)
,
Chen C.Z.
(School of Mechanical Engineering, Jingchu University of Technology, Jingmen, 448000, China)
,
Sun H.
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China)
,
Leng Y.X.
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China)
,
Huang N.
(Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials, Ministry of Education of China, School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu, 610031, China)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 135 ページ： 93-100 発行年： 2017年
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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