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文献
J-GLOBAL ID：201702219934369441
整理番号：17A0795752
誘電体電荷制御の下での容量性MEMSにおけるシグマデルタ効果と電荷同期【Powered by NICT】
$ΣΔ$ Effects and Charge Locking in Capacitive MEMS Under Dielectric Charge Control
Giounanlis Panagiotis
(School of Electrical and Electronic Engineering, University College Dublin, Dublin 4, Ireland)
,
Gorreta Sergi
(Micro and Nano Technologies Group, Universitat Polite`cnica de Catalunya, Barcelona, Spain)
,
Dominguez-Pumar Manuel
(Micro and Nano Technologies Group, Universitat Polite`cnica de Catalunya, Barcelona, Spain)
,
Pons-Nin Joan
(Micro and Nano Technologies Group, Universitat Polite`cnica de Catalunya, Barcelona, Spain)
,
Feely Orla
(School of Electrical and Electronic Engineering, University College Dublin, Dublin 4, Ireland)
,
Blokhina Elena
(School of Electrical and Electronic Engineering, University College Dublin, Dublin 4, Ireland)
資料名：
IEEE Transactions on Circuits and Systems 2: Express Briefs
(IEEE Transactions on Circuits and Systems 2: Express Briefs)
巻： 64 号： 2 ページ： 206-210 発行年： 2017年
JST資料番号： W0347A ISSN： 1549-7747 CODEN： ITCSFK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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