文献
J-GLOBAL ID:201702219962968170
整理番号:17A0083660
TiO2ゾルゲル処理および動径位相マスクベースリソグラフィーを用いた円筒上での直接サブミクロン微細構造形成
Direct sub-micron microstructuring on cylinder using TiO2 sol-gel process and radial phase mask based lithography
著者 (12件):
BERTHOD L.
(Univ. Lyon, SAINT-ETIENNE, FRA)
,
BERTHOD L.
(Univ. Grenoble Alpes, Grenoble, FRA)
,
BERTHOD L.
(LMGP, CNRS, Grenoble, FRA)
,
VOCANSON F.
(Univ. Lyon, SAINT-ETIENNE, FRA)
,
LANGLET M.
(Univ. Grenoble Alpes, Grenoble, FRA)
,
LANGLET M.
(LMGP, CNRS, Grenoble, FRA)
,
VEILLAS C.
(Univ. Lyon, SAINT-ETIENNE, FRA)
,
REYNAUD S.
(Univ. Lyon, SAINT-ETIENNE, FRA)
,
VERRIER I.
(Univ. Lyon, SAINT-ETIENNE, FRA)
,
LAUKKANEN J.
(Univ. Eastern Finland, Joensuu, FIN)
,
PARRIAUX O.
(Univ. Lyon, SAINT-ETIENNE, FRA)
,
JOURLIN Y.
(Univ. Lyon, SAINT-ETIENNE, FRA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9888
ページ:
988808.1-988808.8
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)