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J-GLOBAL ID：201702219989140110 整理番号：17A0547995

シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(X)14乗までの測定法

著者 (3件)：

井上直久

(東京農工大)

井上直久

(大阪府大)

河村裕一

(大阪府大)

資料名：

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))

巻： 64th ページ： ROMBUNNO.14p-F201-13 発行年： 2017年03月01日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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