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文献
J-GLOBAL ID：201702220424887380
整理番号：17A0886779
バルクピエゾ抵抗センサを用いたSOI-MEMS圧電ねじり段階【Powered by NICT】
An SOI-MEMS Piezoelectric Torsional Stage With Bulk Piezoresistive Sensors
Maroufi Mohammad
(Department of Mechanical Engineering, University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA)
,
Moheimani S. O. Reza
(Department of Mechanical Engineering, University of Texas at Dallas, Richardson, TX, USA)
資料名：
IEEE Sensors Journal
(IEEE Sensors Journal)
巻： 17 号： 10 ページ： 3030-3040 発行年： 2017年
JST資料番号： W1318A ISSN： 1530-437X CODEN： ISJEAZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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