文献
J-GLOBAL ID:201702220828340099
整理番号:17A1395434
パルスマグネトロンスパッタリング電源の新しい制御法に関する研究【Powered by NICT】
Research on a new control method of pulse magnetron sputtering power supply
著者 (2件):
Zhang Xiumei
(College of Electrical and Electronic Engineering, Changchun University of Technology, Changchun 130012)
,
Li Hongze
(College of Electrical and Electronic Engineering, Changchun University of Technology, Changchun 130012)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
CCC
ページ:
10220-10223
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)