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文献
J-GLOBAL ID：201702221030057664
整理番号：17A0470329
マグネトロン同時スパッタリングによるMoTe_2薄膜の作製と熱電特性【Powered by NICT】
Preparation and thermoelectric properties of MoTe2 thin films by magnetron co-sputtering
Shi Daotian
(Laboratory of Infrared Material and Devices, The Advanced Technology Research Institute, Ningbo University, Ningbo 315211, China)
,
Shi Daotian
(Key Laboratory of Photoelectric Detection Materials and Devices of Zhejiang Province, Ningbo 315211, China)
,
Wang Guoxiang
(Laboratory of Infrared Material and Devices, The Advanced Technology Research Institute, Ningbo University, Ningbo 315211, China)
,
Wang Guoxiang
(Key Laboratory of Photoelectric Detection Materials and Devices of Zhejiang Province, Ningbo 315211, China)
,
Li Chao
(Laboratory of Infrared Material and Devices, The Advanced Technology Research Institute, Ningbo University, Ningbo 315211, China)
,
Li Chao
(Key Laboratory of Photoelectric Detection Materials and Devices of Zhejiang Province, Ningbo 315211, China)
,
Shen Xiang
(Laboratory of Infrared Material and Devices, The Advanced Technology Research Institute, Ningbo University, Ningbo 315211, China)
,
Shen Xiang
(Key Laboratory of Photoelectric Detection Materials and Devices of Zhejiang Province, Ningbo 315211, China)
,
Nie Qiuhua
(Laboratory of Infrared Material and Devices, The Advanced Technology Research Institute, Ningbo University, Ningbo 315211, China)
,
Nie Qiuhua
(Key Laboratory of Photoelectric Detection Materials and Devices of Zhejiang Province, Ningbo 315211, China)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 138 ページ： 101-104 発行年： 2017年
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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