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文献
J-GLOBAL ID：201702221075811068
整理番号：17A1907009
総説:アクティブ走査プローブ:高速イメージングと新たなナノ加工のための用途の広いツールキット
Review Article: Active scanning probes: A versatile toolkit for fast imaging and emerging nanofabrication
Rangelow Ivo W.
(Department of Micro- and Nanoelectronic Systems (MNES), Ilmenau University of Technology, Gustav-Kirchhoff-Str. 1, 98693 Ilmenau, Germany)
,
Ivanov Tzvetan
(Department of Micro- and Nanoelectronic Systems (MNES), Ilmenau University of Technology, Gustav-Kirchhoff-Str. 1, 98693 Ilmenau, Germany)
,
Ahmad Ahmad
(Department of Micro- and Nanoelectronic Systems (MNES), Ilmenau University of Technology, Gustav-Kirchhoff-Str. 1, 98693 Ilmenau, Germany)
,
Kaestner Marcus
(Department of Micro- and Nanoelectronic Systems (MNES), Ilmenau University of Technology, Gustav-Kirchhoff-Str. 1, 98693 Ilmenau, Germany)
,
Lenk Claudia
(Department of Micro- and Nanoelectronic Systems (MNES), Ilmenau University of Technology, Gustav-Kirchhoff-Str. 1, 98693 Ilmenau, Germany)
,
Bozchalooi Iman S.
(Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, Massachusetts 02139)
,
Xia Fangzhou
(Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, Massachusetts 02139)
,
Youcef-Toumi Kamal
(Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 77 Massachusetts Avenue, Cambridge, Massachusetts 02139)
,
Holz Mathias
(Nano Analytik GmbH, Ehrenbergstrasse 1, 98693 Ilmenau, Germany)
,
Reum Alexander
(Nano Analytik GmbH, Ehrenbergstrasse 1, 98693 Ilmenau, Germany)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 35 号： 6 ページ： 06G101-06G101-14 発行年： 2017年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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