文献
J-GLOBAL ID:201702221358206089
整理番号:17A1696880
大開口面の高速欠陥検査のためのラインスキャニングレーザ散乱システム
Line-scanning laser scattering system for fast defect inspection of a large aperture surface
著者 (1件):
DONG Jingtao
(Hefei Univ. Technol., Anhui, CHN)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
56
号:
25
ページ:
7089-7098
発行年:
2017年09月01日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)