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文献
J-GLOBAL ID：201702221685369302
整理番号：17A0635599
温度制御システムと一体化した薄膜バルク音響共振器ベースの高性能圧力センサ
A film bulk acoustic resonator-based high-performance pressure sensor integrated with temperature control system
ZHANG Mengying
(Inst. of Electronics, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
,
ZHANG Mengying
(Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
,
ZHAO Zhan
(Inst. of Electronics, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
,
ZHAO Zhan
(Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
,
DU Lidong
(Inst. of Electronics, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
,
FANG Zhen
(Inst. of Electronics, Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
,
FANG Zhen
(Univ. Chinese Acad. of Sci., Beijing, CHN)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 27 号： 4 ページ： 045004,1-10 発行年： 2017年04月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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