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文献
J-GLOBAL ID：201702221781255190
整理番号：17A0452543
n型結晶シリコン(111)ウエハ上の直接電気化学的ナノインプリントリソグラフィー【Powered by NICT】
Electrochemical nanoimprint lithography directly on n-type crystalline silicon (111) wafer
Zhang Lin
(State Key Laboratory of Physical Chemistry of Solid Surfaces (PCOSS), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Zhang Lin
(Collaborative Innovation Center of Chemistry for Energy Materials (iChem), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Zhang Lin
(Department of Chemistry, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Zhang Jie
(State Key Laboratory of Physical Chemistry of Solid Surfaces (PCOSS), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Zhang Jie
(Collaborative Innovation Center of Chemistry for Energy Materials (iChem), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Zhang Jie
(Department of Chemistry, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Yuan Ding
(State Key Laboratory of Physical Chemistry of Solid Surfaces (PCOSS), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Yuan Ding
(Collaborative Innovation Center of Chemistry for Energy Materials (iChem), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Yuan Ding
(Department of Chemistry, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Han Lianhuan
(State Key Laboratory of Physical Chemistry of Solid Surfaces (PCOSS), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Han Lianhuan
(Collaborative Innovation Center of Chemistry for Energy Materials (iChem), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Han Lianhuan
(Department of Chemistry, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Zhou Jian-Zhang
(State Key Laboratory of Physical Chemistry of Solid Surfaces (PCOSS), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Zhou Jian-Zhang
(Collaborative Innovation Center of Chemistry for Energy Materials (iChem), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Zhou Jian-Zhang
(Department of Chemistry, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Tian Zhao-Wu
(State Key Laboratory of Physical Chemistry of Solid Surfaces (PCOSS), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Tian Zhao-Wu
(Collaborative Innovation Center of Chemistry for Energy Materials (iChem), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Tian Zhao-Wu
(Department of Chemistry, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Tian Zhong-Qun
(State Key Laboratory of Physical Chemistry of Solid Surfaces (PCOSS), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Tian Zhong-Qun
(Collaborative Innovation Center of Chemistry for Energy Materials (iChem), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Tian Zhong-Qun
(Department of Chemistry, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Zhan Dongping
(State Key Laboratory of Physical Chemistry of Solid Surfaces (PCOSS), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Zhan Dongping
(Collaborative Innovation Center of Chemistry for Energy Materials (iChem), Xiamen University, Xiamen 361005, China)
,
Zhan Dongping
(Department of Chemistry, College of Chemistry and Chemical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China)
資料名：
Electrochemistry Communications
(Electrochemistry Communications)
巻： 75 ページ： 1-4 発行年： 2017年
JST資料番号： W1133A ISSN： 1388-2481 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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