文献
J-GLOBAL ID:201702221783498497
整理番号:17A0389408
c軸はマグネトロンスパッタリングによる結晶性IGZO薄膜トランジスタを指向【Powered by NICT】
C-Axis oriented crystalline IGZO thin-film transistors by magnetron sputtering
著者 (12件):
Zhang Junpeng
(Guangdong Research Center for Interfacial Engineering of Functional Materials, Shenzhen Key Laboratory of Special Functional Materials, College of Materials Science and Engineering, Shenzhen University, Shenzhen 518060, China. wyxu@szu.edu.cn dlzhu@szu.edu.cn)
,
Wen Xizhang
,
Hu Luyao
,
Xu Wangying
,
Zhu Deliang
,
Cao Peijiang
,
Liu Wenjun
,
Han Shun
,
Liu Xinke
,
Jia Fang
,
Zeng Yuxiang
,
Lu Youming
資料名:
Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices
(Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices)
巻:
5
号:
9
ページ:
2388-2396
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2383A
ISSN:
2050-7526
CODEN:
JMCCCX
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)