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文献
J-GLOBAL ID：201702221859212810
整理番号：17A1036941
VUV/O_3照射の影響を受けた低温度SAMで修飾したPOM直接ボンディングに関する研究【Powered by NICT】
A study on low temperature SAM modified POM direct bonding affected by VUV/O3 irradiation
Fu Weixin
(Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Tokyo, Japan)
,
Ma Bo
(Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Tokyo, Japan)
,
Kuwae Hiroyuki
(Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Tokyo, Japan)
,
Shoji Shuichi
(Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Tokyo, Japan)
,
Mizuno Jun
(Research Organization for Nano and Life Innovation, Waseda University, Tokyo, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： LTB-3D ページ： 69 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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