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文献
J-GLOBAL ID：201702221909182758
整理番号：17A1276490
MEMSセンサ設計されたフルカスタムにおける運動依存寄生の解析のための新しい方法【Powered by NICT】
A new method for the analysis of movement dependent parasitics in full custom designed MEMS sensors
Hald Axel
(Automotive Electronics, Robert Bosch GmbH, Tuebinger Str. 123, 72762 Reutlingen, Germany)
,
Seelhorst Johannes
(Automotive Electronics, Robert Bosch GmbH, Tuebinger Str. 123, 72762 Reutlingen, Germany)
,
Herzogenrath Pekka
(Automotive Electronics, Robert Bosch GmbH, Tuebinger Str. 123, 72762 Reutlingen, Germany)
,
Scheible Jurgen
(Reutlingen University, Robert Bosch Center for Power Electronics)
,
Lienig Jens
(Dresden University of Technology, Institute of Electromechanical and Electronic Design)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： SMACD ページ： 1-4 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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