文献
J-GLOBAL ID:201702222371817081
整理番号:17A0635593
均一な空隙率,全多孔質シリコン微細構造および応力/応力勾配制御の作製
Fabrication of uniform porosity, all-porous-silicon microstructures and stress/stress gradient control
著者 (3件):
SUN Xiao
(Univ. Western Australia, WA, AUS)
,
PARISH Giacinta
(Univ. Western Australia, WA, AUS)
,
KEATING Adrian
(Univ. Western Australia, WA, AUS)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
27
号:
4
ページ:
044001,1-9
発行年:
2017年04月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)