文献
J-GLOBAL ID:201702222510257663
整理番号:17A1731996
MEMS横方向振動共振器のための20%スカンジウムをドープした窒化アルミニウム膜の研究【Powered by NICT】
Investigation of 20% Scandium-doped Aluminum Nitride films for MEMS laterally vibrating resonators
著者 (6件):
Colombo Luca
(ECE, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, Pennsylvania, USA)
,
Kochhar Abhay
(ECE, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, Pennsylvania, USA)
,
Xu Changting
(ECE, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, Pennsylvania, USA)
,
Piazza Gianluca
(ECE, Carnegie Mellon University, Pittsburgh, Pennsylvania, USA)
,
Mishin Sergey
(Advanced Modular Systems, Inc., Goleta, California, USA)
,
Oshmyansky Yury
(Advanced Modular Systems, Inc., Goleta, California, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
IUS
ページ:
1
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)