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文献
J-GLOBAL ID：201702222527431568
整理番号：17A1028809
ダウンスケーリングシリコンピエゾ抵抗センサへのモノリシックアプローチ【Powered by NICT】
A Monolithic Approach to Downscaling Silicon Piezoresistive Sensors
Nasr Esfahani Mohammad
(Department of Mechanical Engineering, Koc, University, Istanbul, Turkey)
,
Leblebici Yusuf
(Microelectronic Systems Laboratory, E ́cole Polytechnique Fe ́de ́rale de Lausanne, Lausanne, Switzerland)
,
Alaca B. Erdem
(Department of Mechanical Engineering, Koc, University, Istanbul, Turkey)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 26 号： 3 ページ： 624-631 発行年： 2017年
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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