文献
J-GLOBAL ID:201702222667279148
整理番号:17A0381542
ナノメートル分解能と表面の均一性とナノスケール構造の作製【Powered by NICT】
Fabrication of nanoscale structures with nanometer resolution and surface uniformity
著者 (5件):
Niroui Farnaz
(Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, Massachusetts, USA)
,
Saravanapavanantham Mayuran
(Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, Massachusetts, USA)
,
Swager Timothy M.
(Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, Massachusetts, USA)
,
Lang Jeffrey H.
(Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, Massachusetts, USA)
,
Bulovic Vladimir
(Massachusetts Institute of Technology, Cambridge, Massachusetts, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MEMS
ページ:
659-662
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)