文献
J-GLOBAL ID:201702222887481468
整理番号:17A0766131
窒化物MOCVD反応器における電磁加熱の解析と有限要素シミュレーション【Powered by NICT】
Analysis and finite element simulation of electromagnetic heating in the nitride MOCVD reactor
著者 (5件):
Li Zhi-Ming
(School of Microelectronics, Xidian University)
,
Hao Yue
(School of Microelectronics, Xidian University)
,
Zhang Jin-Cheng
(School of Microelectronics, Xidian University)
,
Xu Sheng-Rui
(School of Microelectronics, Xidian University)
,
Ni JinYu
(School of Microelectronics, Xidian University)
資料名:
Chinese Physics B
(Chinese Physics B)
巻:
18
号:
11
ページ:
5072-5077
発行年:
2009年11月
JST資料番号:
W1539A
ISSN:
1674-1056
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
中国 (CHN)
言語:
英語 (EN)